施用范本

蚀刻、成膜装置中工艺气体的高精度控制

◆压力控制·减压

◆压力稳定化

● 主要采用高耐腐烛板材

● 实行电解抛光磨研、超紧密精加工、超紧密清洁

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02 优化设计

●要降低滑屏部

● 膜片组成的seo

● 优化提升所选材质，变现平衡工作

03 高密封性

益于制作工艺可靠化。

● 高压闸阀部的整合设计的和超细密手工加工

● 更大局限性限制阀闭拉伸动作时的2次侧液化气泄漏（外流）

04 高微小流量控制性

推动相对稳定且稳定的行为

● 阀门法兰部图形的改进开发

● 细微精准流量下也可安稳抑制

05 减少迟滞

安全满足目标压力。

● 主要包括及高品质质量文件

● 超金属加工工艺加工工艺

06 丰富的产品阵容